荷兰芯片设备生产商ASML周三表示,将就此前与日本竞争对手尼康达成的专利权纠纷和解,支付8,700万美元。
ASML在一份声明中称,“2004年将首次支付6,000万美元,其余将在2005至2007年分期支付。”
ASML的竞争对手为尼康和Canon。